（1）動作距離 當被測物由正面靠近接近開關的感應面時，使接近開關動作（輸出狀態變為有效狀態）距離為接近開關的動作距離δmin（單位為mm，以下同）。
（2）動作頻率 美妙連續不斷地進入接近開關的動作距離后又離開的被測物個數或次數稱為動作頻率。若接近開關的動作頻率太低而被測物又運動得太快時，接近開關就來不及響應物體的運動狀態，有可能造成漏檢。
（3）復位距離 當被測物由正面離開接近開關的感應面，接近開關轉為復位時，被測物離開感應面的距離δmin。
（4）額定工作距離 額定工作距離指接近開關在實際使用中被設定的安裝距離。在此距離上，接近開關不應受溫度變化、電源波動等外界干擾而產生誤動作。額定工作距離必然小于動作距離，但是若設置的太小，有可能無法復位。實際應用中，考慮到各方面環境因素干擾的影響，較為可靠的額定工作距離約為動作距離的75%。
（5）動作滯差 動作滯差△δ指復位距離與動作距離之差。動作滯差越大，對抗被測物抖動等造成的機械振動干擾的能力就強，但動作準確度就越差。
（6）重復定位準確度（重復性） 它表征多次測量的動作距離平均值。其數值離散性的大小一般為大動作距離的1%-5%。離散性越小，重復定位準確度越高。
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